>>>技术描述>>>

1. 测量范围：

a. X方向驱动器：200mm；

b. Z1轮廓度量程：40mm；

c. Z1粗糙度量程：±1500μm；

d. Z1分辨率：0.1微米；

e. Z轴高度（立柱）：500mm；

f. 可测量最小内孔：4mm；

2. 轮廓技术参数：

a. 线性精度：±（0.7+|0.012H|）μm；

b. 圆弧：±（1.2+R/12）μm；

c. 角度：±1′；

d. 直线度：0.7μm/100mm；

e. 评定长度：λcX1、2、3、4、5；

a. 线性精度：≤±5%；

b. 残值噪声：≤0.005μm；

c. 重复稳定性：试值3%；

d. 截止波长：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm。

3. 螺纹测量评定参数：

a. 可测量最小螺纹内径：4-240mm；

b. 可测量最大螺纹外径：3-240mm；

c. 线性精度：±（0.7+|0.012H|）μm；

d. 圆弧：±（1.2+R/12）μm；

e. 角度：±1′；

f. 直线度：0.7μm/100mm。

注：H为运行长度 单位毫米。

4. 传感器：贴片光栅尺：分辨率0.02μm；产地美国； 

5. 爬坡角度：上升77度，下降88度；

6. 粗糙度评定：Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2；

7. 测量速度：0.05-20mm/s；Z轴速度：0.05-20mm/s。