>>>技术描述>>>

1. 测量范围：

a. X方向驱动器：130mm；

b. Z1轮廓度量程：40mm；

c. Z1粗糙度量程：±1500μm；

d. Z1分辨率：0.02微米；

e. Z轴高度（立柱）：550mm；

f. 可测量最小内孔：10mm；

2. 轮廓技术参数：

①　线性精度：±（0.7+|0.12H|）μm；

②　Z方向（H=Z轴方向测量高度）：±(0.6+0.02H)μm;

③　圆弧精度≦±（0.8+R/12）μm；

④　角度误差≤±1′；

⑤　直线度0.6μm /100mm；

3. 轮廓度技术参数：

①　示值误差± (5μm+0.05A)；

②　线性精度：≤±5%；

③　残值噪声：≤0.005μm；

④　重复稳定性：试值3%；

⑤　截止波长：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm；

⑥　评定长度：λcX1、2、3、4、5、6、7；

⑦　传感器：雷尼绍进口光栅传感器，分辨率0.01μm；产地英国； 

⑧　爬坡角度：爬坡角度上升77度，下降88度；

⑨　粗糙度评定参数：Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2；

⑩　测量速度(轮廓)0.02mm至4.0mm/s；

⑪　测量速度：0.05-20mm/s；

⑫　测量方式为传感器移动。