>>>技术描述>>>

1. 测量范围

a. X方向驱动器：140mm；

b. Z1（轮廓度量程）：45mm；

c. Z1（分辨率）：0.1微米；

d. Z轴高度（立柱）：650mm；

e. 可检测内孔：20mm可选用小针针对小孔检测；

2. 轮廓参数

a. 线性精度：±（1.0+|0.12H|）μm；

b. 圆弧：±（1.2+R/12）μm；

c. 角度：±1′；

d. 直线度：0.6μm/100mm；

3. 传感器

a. 芯片类型：美国；

b. 分辨率：0.1μm；

c. 产地：英国雷尼邵；

d. 爬坡角度：上升77度，下降88度；

e. 测量速度：0.05-20mm/s；

f. Z轴速度：0.05-20mm/s。