>>>技术描述>>>

1. X轴行程:100mm；

2. Z 轴高度行程:400mm；

3. Z1轴行程:20mm；

4. 承重:80kg；

5. 精度解析度：0.1微米；

6. 可检测最小内孔：18毫米（最小可选配2㎜内孔针)；

7. 轮廓尺寸参数

  a. 高度：±（1.5+|0.08H|）μm；

  b. 圆弧：±（1.2+R/10）μm；

  c. 角度：±1′；

  d. 直线度：1.0μm/100mm；

  e. 全量程分辨率0.1微米；

  f. 测量力：10mN～30mN（可手动调整）；

  g. H表示测量高度，R为测量半径 以毫米为单位；

8. 传感器

  a. 类型：数字光栅；

  b. 分辨率：0.1μm；

9. 爬坡角度：上升77度，下降87度；

10. 测量速度：0.02～20mm/s；

11. 工作环境

  a. 温度：20℃±5℃；

  b. 温度变化：<3℃/hr；

  c. 湿度：30～80%不可结露；

  d. 振动：＜0.002g，＜15Hz；

  e. 电源电压：220V±10%；

  f. 必须接地，小于10V；

  g. 频率：50Hz；

  h. 功率：930W；