>>>技术描述>>>

1. 测量范围

a. X方向驱动器：120mm；

b. Z1：粗糙度量程±1500μm；

c. Z1：分辨率0.01微米；

d. Z轴高度（立柱）；400mm；

2. 轮廓技术参数

a. 线性精度：±（0.7+|0.12H|）μm；

b. 直线度：0.5μm/100mm；

3. 粗糙度技术参数

a. 线性精度:≤±5%；

b. 残值噪声:≤0.005μm；

c. 重复稳定性:试值3%；

d. 截止波长:0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm；

e. 评定长度:λcX1、2、3、4、5；

4. 传感器

a. 类型:美国；

b. 分辨率:0.01μm；

c. 产地:美国；

5. 爬坡角度:上升77度 下降88度；

6. 粗糙度评定参数:Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2；

7. 测量速度:0.05-20mm/s；

8. Z轴速度：0.05-20mm/s。